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ͼ 5 ¸ø³öÁË´ý²âÆ÷¼þ 1 ºÍ 3 ÔÚ´óµçÁ÷¹Ø¶ÏºóÀäÈ´¹ý³ÌÖеÄоƬ½áα仯¡£Ê¹ÓÃÈÈÃôµç²ÎÊý Vce(sat)À´¼ÆËãоƬ½áÎÂʱ£¬Vce(sat)-Tj µÄ¹ØÏµÊÇÔÚСµçÁ÷ϽøÐб궨µÄ£¬Òò´ËÖ»ÄÜÓÃÀ´²âÁ¿Ð¡µçÁ÷ϵÄѹ½µ£¬´Ó¶ø¼ÆËãµÃµ½½µÎ½׶εĽáα仯¡£Ê¹ÓÃÈÈÃôµç²ÎÊý Vce(sat)À´¼ÆËãоƬ½áΣ¬ËäÈ»²»ÄÜ»ñµÃ¹¦ÂÊÑ»·ÊÔÑéÖмÓÈȽ׶εĽáα仯£¬µ«ÊǽµÎ¹ý³ÌºÍÉýιý³ÌµÄζȱ仯ÊǶԳƵġ£´Ó²âÁ¿½á¹ûÀ´¿´£¬ËäÈ»Á½ÖÖ²»Í¬·â×°ÐÎʽµÄÄ£¿éµÄ½á⨶¯·¶Î§Ò»Ö£¬µ«ÔÚ½µÎ¹ý³ÌÖУ¬Ä£¿é 3 µÄ½áνµÎÂËÙÂʸßÓÚÄ£¿é1£¬ÕâÊÇÓÉÓÚ Pin-Fin »ù°åÄ£¿é²»½ö½áµ½Ë®ÈÈ×èСÓÚÆ½°å»ù°åÄ£¿é£¬ÆäÈÈÈÝÒ²¸üС£¬Ê¹µÃ Pin-Fin »ù°åÄ£¿éµÄÉ¢ÈÈЧÂʽϸߡ£ÓÉÓÚ 5 s µÄÀäȴʱ¼äÏà¶Ô½Ï³¤£¬Ê¹µÃƽ°å»ù°åÄ£¿éµÄоƬ½áÎÂÓÐ×ã¹»µÄʱ¼äÀäÈ´µ½ºÍ Pin-Fin »ù°åÄ£¿éÏàͬµÄζȣ¬ÕâÒ²±£Ö¤ÁËÉ¢ÈÈЧÂÊÏà¶Ô½ÏµÍµÄƽ°å»ù°åÄ£¿é£¬ÈÔÈ»¿ÉÒÔÀäÈ´µ½×îµÍ½áΠ50¡æµÄʵÑéÌõ¼þ¡£

2.2 ¹¦ÂÊÑ»·ÊÙÃü
ͼ 6 ÊÇÄ£¿é 1 ºÍÄ£¿é 3 µÄ U1 ¹Ü£¬ÔÚ¹¦ÂÊÑ»·ÊÔÑé¹ý³ÌÖеı¥ºÍѹ½µ¡¢½áβÈÈ×è±ä»¯ÇúÏß¡£ÎªÁ˱ãÓÚÖ±¹ÛµØ¶Ô¸÷Æ÷¼þµÄ¹¦ÂÊÑ»·ÊÙÃü½øÐжԱȣ¬Ñ¡È¡Ä£¿é 1 µÄ U1 ¹ÜʧЧʱµÄÊÙÃüΪ N0£¬ÆäÓà¸÷¹ÜµÄ¹¦ÂÊÑ»·ÊÙÃüÒÔ N0 Ϊ»ù´¡½øÐйéÒ»»¯¡£ÀÏ»¯¹ý³ÌÖУ¬ÈÈ×èµÄÔö·ù²»´ó£¬µ±Æ÷¼þʧЧʱ£¬Ä£¿é 1 µÄ U1¹ÜÈÈ×èÔö´óÁË 2.2%£¬Ä£¿é 3 µÄ U1 ¹ÜÈÈ×èÔö´óÁË0.6%¡£ÊµÑé½áÊøÊ±£¬Ä£¿é 1 µÄ U1 ¹Ü±¥ºÍѹ½µÔö´óÁË 6.9%£¬Ä£¿é 3 µÄ U1 ¹Ü±¥ºÍѹ½µÔö´óÁË 5.1%¡£ÔÚͼ 6 µÄ±¥ºÍѹ½µÇúÏßÖУ¬»¹¿ÉÒÔ¿´µ½Á½´ÎÊý¾ÝÍ»±ä£¬ÕâÊÇÓÉÓÚ¼üºÏÏßµÄÍÑÂ䣬ʹÆ÷¼þµÄµçÁ÷»ØÂ·µç×èÖµÔö´ó£¬Ôì³ÉÁ˱¥ºÍѹ½µµÄÔö¼Ó¡£ÓÉ´Ë¿ÉÒÔÅжϣ¬Æ÷¼þµÄʧЧÊÇÓÉÓÚ¼üºÏÏßµÄÍÑÂäÒýÆðµÄ£¬º¸²ã³öÏÖÁËÇá΢µÄÍË»¯£¬µ«²»ÊÇÆ÷¼þµÄÖ÷ҪʧЧģʽ¡£

4 ֻģ¿éµÄ¹¦ÂÊÑ»·ÊÙÃüͳ¼Æ½á¹ûÈçͼ 7 Ëùʾ¡£ÔÚÏàͬµÄ½áβ×î¸ß½áεÄÌõ¼þÏ£¬Æ½°å»ù°åÄ£¿éµÄÊÙÃüÕûÌå¸ßÓÚ Pin-Fin »ù°åÄ£¿é£¬¾Íƽ¾ùÊÙÃü¶øÑÔ£¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿éԼΪ 0.887N0£¬Æ½°å»ù°åÄ£¿éԼΪ 0.969N0£¬±È Pin-Fin »ù°åÄ£¿é¸ß 9.2%¡£ËäÈ»Pin-Fin Ä£¿é²ÉÓÃÖ±½ÓË®ÀäµÄ·â×°ÐÎʽ½µµÍÁËÈÈ×裬ÌáÉýÁËÉ¢ÈÈÄÜÁ¦ºÍͨÁ÷ÄÜÁ¦£¬µ«ÔÚÏàͬÈÈÁ¦Ìõ¼þÏ£¬Pin-Fin Ä£¿éµÄÊÙÃüµÍÓÚÆ½°å»ù°åÄ£¿é£¬½ö´Ó·â×°¿É¿¿ÐԵĽǶȣ¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿éÎÞ·¨ÌåÏÖ³öÓÅÊÆ¡£

2.3 ʧЧ·ÖÎö
µ±ÊµÑéÖÕֹʱ£¬¶ÔÄ£¿é½øÐÐʧЧ·ÖÎö¡£Í¼ 8 ÊÇʵÑé½áÊøºóÄ£¿é 1 µÄ U1 ¹ÜÕÕÆ¬£¬¿ÉÒÔ¿´µ½£¬Ð¾Æ¬½ðÊô²ãÉÏ·½µÄ¼üºÏµã³öÏÖÁËÍÑÂäÏÖÏó£¬ÇÒÍÑÂäµã²»Ö¹Ò»¸ö£¬¶ø³Ä°å¸²ÍÉϵļüºÏµãÍêºÃ¡£µ±¼üºÏÏß·¢ÉúÁËÍÑÂäÖ®ºó£¬Í¬Ò»Ð¾Æ¬ÉÏÊ£Óà¼üºÏÏߵĵçÁ÷»á˲¼äÔö´ó£¬´Ó¶ø¼ÓËÙÁ˼üºÏÏßµÄÍÑÂäʧЧ¡£

ͼ 9 ÊÇʵÑéºóÄ£¿é 1 µÄ U1 ¹ÜоƬº¸²ã³¬ÉùɨÃèÕÕÆ¬¡£´Ó³¬ÉùɨÃè½á¹ûÀ´¿´£¬º¸²ãµÄÍË»¯³Ì¶È½ÏС£¬Ó빦ÂÊÑ»·ÊÔÑé¹ý³ÌÖÐÈÈ×èµÄ±ä»¯¹æÂÉÒ»Ö¡£

ͼ 10 ¸ø³öÁË 4 ֻģ¿éµÄ¼üºÏÏßʧЧλÖ÷ֲ¼¡£ÍÑÂäµÄ¼üºÏµã¾ùλÓÚоƬ±íÃæ½ðÊô²ãÇøÓò£¬³Ä°å¸²ÍÉϼüºÏµãÍêºÃ¡£ÍÑÂäµÄ¼üºÏµã·Ö²¼ÓÚоƬÖÐÐÄ£¬Ð¾Æ¬±ßÔµ¼üºÏÏßδ·¢ÏÖʧЧ¡£Ïà¶ÔÓÚÆ½°å»ù°åÄ£¿é¶øÑÔ£¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿éÍÑÂäµÄ¼üºÏµã¸ü¼Ó¼¯ÖÐÓÚоƬÖÐÐÄλÖá£


¡¡±¾ÎÄÑо¿ÁËÒ»ÖÖÓÃÓÚ5GͨÐŵÄÉäÆµÎ¢ÏµÍ³ÓëÌìÏßÒ»Ì廯ÈýάÉȳöÐͼ¯³É·â×°¼¼Êõ. ͨ¹ýÔÚ²£Á§¾§Ô² ÉÏʹÓÃË«Ãæ²¼Ïß¹¤ÒÕ£¬ÊµÏÖºÁÃײ¨ÌìÏßÕóÁеÄÖÆ×÷. ½«TSVת½ÓоƬÓëÉäÆµÐ¾Æ¬µ¹×°º¸ÔÚ²£Á§¾§Ô²ÉÏ£¬ÔÙÓÃÊ÷Ö¬²ÄÁÏ ½øÐÐ×¢ËÜ£¬½«²£Á§¾§Ô²ÓëÒì¹¹Ð¾Æ¬ÖØ¹¹³É²£Á§ÓëÊ÷Ö¬ÓÀ¾Ã¼üºÏµÄ¾§Ô². ¼õ±¡Ê÷Ö¬¾§Ô²ÃæÂ©³öTSVת½ÓоƬµÄÍÖù£¬ÔÚ Ê÷Ö¬±íÃæÉÏÍê³ÉÔÙ²¼Ïß. °Ñ¿ØÖÆ¡¢µçÔ´¹ÜÀíµÈоƬµ¹×°º¸ÔÚÔÙ²¼ÏßÐγɵĺ¸ÅÌ´¦£¬Ö²ÉÏBGAº¸ÇòÐγÉ×îÖÕ·â×°Ìå. Àû ÓúÁÃײ¨Ì½Õę̈¶ÔÉ䯵´«ÊäÏßµÄËðºÄ½øÐвâÁ¿£¬½á¹û±íÃ÷£¬1 mm³¤µÄCPW´«ÊäÏßÉ䯵´«ÊäËðºÄÔÚ60 GHz½öΪ0.6 dB. ÔÚ²£Á§¾§Ô²ÉÏÉè¼ÆÁËÒ»ÖÖ·ì϶ñîºÏÌìÏߣ¬ÌìÏßÔÚ59.8 GHzµÄ¹¤×÷ƵÂÊ×î´óÔöÒæ´ïµ½6 dB. ÕâΪ5GͨÐŵÄÉäÆµÎ¢ÏµÍ³ ÓëÌìÏßÒ»Ì廯ÈýάÉȳöÐͼ¯³ÉÌṩÁËÒ»¸öÇÐʵ¿ÉÐнâ¾ö·½°¸.ΪÁ˽øÒ»²½¶Ô±È²»Í¬É¢ÈÈ»ù°åÐÎʽģ¿éµÄÈÈ»úеÐÔÄÜ£¬½øÐÐÁ˵ç-ÈÈ-Á¦¶àÎïÀí³¡ñîºÏµÄÓÐÏÞÔª·ÖÎö¡£ÓÐÏÞÔª·ÖÎö¿ÉÒÔͨ¹ýÊýֵģÄâµÄ·½Ê½£¬»ñµÃÔÚʵÑéÖв»ÒײâÁ¿µÄÎïÀíÁ¿£¬ÈçζÈÌݶȡ¢Ó¦Á¦¡¢ËÜÐÔÓ¦±äµÈ£¬Îª·ÖÎöÎÊÌâ¡¢½â¾öÎÊÌâÌṩÁËÐµķ½·¨ºÍ¹¤¾ß¡£
3.1 ·ÂտģÐÍ
·ÂÕæ²ÉÓÃÈ«³ß´çÈýάģÐÍ£¬ÎªÁ˼õÉÙ¼ÆËãÁ¿£¬È¥³ýÁ˹ܿǡ¢Ä¸ÅŶË×Ó¡¢¸¨Öú¶Ë×Ó¡¢¹è½º£¬½ö°üº¬Ð¾Æ¬¡¢¼üºÏÏß¡¢º¸²ã¡¢³Ä°å¡¢»ù°åµÈ½á¹¹£¬ÆäÖлù°å·ÖΪƽ°å»ù°åºÍ Pin-Fin »ù°åÁ½ÖÖÐÎʽ¡£·ÂտģÐͺöÂÔÁËÄ£¿éÖпÉÄÜ´æÔÚµÄȱÏÝ£¬º¸²ã¼ò»¯Îªºñ¶È¾ùÔÈ¡¢ÎÞ¿Õ¶´µÄ²ã×´½á¹¹¡£±í 2 ÁгöÁË·ÂÕæÖÐʹÓõIJÄÁϲÎÊý£¬ÆäÖУ¬Ð¾Æ¬µç×èÂʲÉÓÃÎÄÏ×[21]ÖÐÌá³öµÄ»ùÓÚÆ÷¼þ I-V ÌØÐԵĵÈЧµç×èÂʼÆËã·½·¨½øÐж¨Ò壬ÂÁ¼üºÏÏßʹÓÃË«ÏßÐÔµ¯ËÜÐÔÄ£ÐÍ£¬Çü·þÇ¿¶ÈΪ 30 MPa£¬ÇÐÏßÄ£Á¿Îª 500 MPa¡£º¸ÁÏʹÓà Anand Õ³ËÜÐÔ±¾¹¹Ä£ÐÍ[23-24]ÆäÓà²ÄÁÏÉèÖÃΪµ¯ÐÔ²ÄÁÏ¡£

²ÉÓõç-ÈÈ-Á¦¶àÎïÀí³¡ñîºÏÄ£Ä⹦ÂÊÑ»·ÊÔÑéÖеçÁ÷²úÉú½¹¶úÈÈ£¬ÒýÆðÆ÷¼þζÈÉÏÉý£¬µ¼ÖÂÆ÷¼þ¸÷²¿¼þ¼ä²úÉúÈÈÓ¦Á¦ºÍ±äÐΡ£·ÂÕæÌõ¼þºÍʵÑéÌõ¼þÏàͬ£¬Í¨¹ý¶ÔоƬ¼ÓÔØºÍʵÑéÏàͬµÄµçÁ÷À´½øÐвúÈÈ£¬»ù°åµ×²¿Ê©¼Ó¶ÔÁ÷»»Èȱ߽磬ģÄâÉ¢ÈÈÆ÷¶ÔÄ£¿éÉ¢ÈÈ¡£Í¨¹ýµ÷Õû¶ÔÁ÷»»ÈÈϵÊý£¬Ê¹Ð¾Æ¬Æ½¾ù½áÎÂÔÚ 50¡æ~150¡æÖ®¼ä²¨¶¯£¬ÓëʵÑéÌõ¼þ±£³ÖÒ»Ö¡£
3.2 ·ÂÕæ½á¹û
ͼ 11 ÊÇÆ½°å»ù°åÄ£ÐÍºÍ Pin-Fin »ù°åÄ£Ð͵Ľáα仯ÇúÏߣ¬¿ÉÒÔ¿´µ½£¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿éµÄ½áα仯ËÙÂʸßÓÚÆ½°å»ù°åÄ£¿é£¬ÔÚÉýν׶Σ¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿éоƬ½áÎÂÔçÓÚÆ½°å»ù°åÄ£¿éÉý¸ßÖÁ×î´óÖµ£¬ÔÚ½µÎ½׶Σ¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿éоƬ½áÎÂϽµÒ²±Èƽ°å»ù°åÄ£¿é¸üÔç´ïµ½×îСֵ¡£Ï½µ½×¶ÎµÄζȱ仯Ç÷ÊÆÒ²ÔÚʵÑéÖеõ½ÁË֤ʵ£¬Èçͼ 5 Ëùʾ¡£

ͼ 12 ¸ø³öÁË´óµçÁ÷¹Ø¶Ïʱ¿Ì£¬Æ½°å»ù°åÄ£¿éºÍPin-Fin »ù°åÄ£¿éоƬ½áεķֲ¼¡£´óµçÁ÷¹Ø¶Ïʱ¿Ì£¬Ð¾Æ¬´ïµ½×î¸ßζȣ¬¶ÔÓÚÆ½°å»ù°åÄ£¿é£¬Ð¾Æ¬ÖÐÐÄ×î¸ß½áÎÂΪ 173.8¡æ£¬Ð¾Æ¬±ß½Ç×î¸ß½áÎÂΪ 106.2¡æ£¬Î¶ȲîֵΪ 67.6¡æ¡£ÓëÖ®Ïà¶ÔµÄ Pin-Fin »ù°åÄ£¿é£¬Ð¾Æ¬ÖÐÐÄ×î¸ß½áÎÂΪ 176.8¡æ£¬Ð¾Æ¬±ß½Ç×î¸ß½áÎÂΪ102.6¡æ£¬Î¶ȲîֵΪ 74.2¡æ¡£½áºÏͼ 11£¬Á½ÖÖ²»Í¬½á¹¹µÄÉ¢Èȵװå·â×°ÐÎʽ£¬ÔÚÆ½¾ù½áÎÂÏàͬµÄÌõ¼þÏ£¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿éµÄоƬ½áηֲ¼¸ü¼Ó²»¾ùÔÈ£¬Ð¾Æ¬ÉϵÄζÈÌݶȸü´ó£¬Ð¾Æ¬ÖÐÐĵÄ×î¸ßζȸü¸ß¡£

½øÒ»²½µØ£¬Ìáȡƽ°å»ù°åÄ£¿éºÍ Pin-Fin »ù°åÄ£¿éоƬ±íÃæµÚ 1 ¼üºÏµãºÍµÚ 2 ¼üºÏµãλÖõÄζÈÊý¾Ý£¬Èçͼ 13 Ëùʾ¡£¼üºÏµãζȷֲ¼Ç÷ÊÆÓëоƬ½áηֲ¼Ç÷ÊÆÏàͬ£¬Ð¾Æ¬×îÖÐÐÄÇøÓòµÄ¼üºÏµãζÈ×î¸ß£¬¹¤¿öÏà¶ÔоƬ±ß½ÇµÄ¼üºÏµã¸üΪÑϿᣬÔö¼ÓÁËÖÐÐļüºÏµãʧЧµÄ¿ÉÄÜ¡£Pin-Fin »ù°åÄ£¿éµÄ¼üºÏµã£¬×î¸ßÎÂΪ 170.82¡æ£¬Æ½°å»ù°åÄ£¿éÏàͬλÖõļüºÏµã£¬Î¶ÈΪ 166.34¡æ£¬±È Pin-Fin »ù°åÄ£¿éµÍ 4.48¡æ¡£Pin-Fin »ù°åÄ£¿é×î±ßÔµ¼üºÏµãµÄζÈΪ 138.68¡æ£¬Æ½°å»ù°åÄ£¿éÏàͬλÖõļüºÏµã£¬Î¶ÈΪ 142.13¡æ£¬±È Pin-Fin »ù°åÄ£¿é¸ß 3.45¡æ¡£Í¬Ò»Ð¾Æ¬ÉϵÄͬһÅżüºÏµã£¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿éµÄζȲîΪ 32.13¡æ£¬Æ½°å»ù°åÄ£¿éΪ 24.21¡æ¡£ÓÉ´Ë¿ÉÒÔ¿´³ö£¬Pin-Fin Ä£¿é¼üºÏµãµÄζȲîÒì¸ü´ó£¬Î¶ȷֲ¼²»¾ùÔÈÐÔÏà½ÏÓÚÆ½°å»ù°åÄ£¿é¸üÑÏÖØ£¬ÕâÒ²½âÊÍÁË Pin-Fin »ù°åÄ£¿éµÄ¼üºÏÏßµÄÍÑÂä¸ü¼¯ÖÐÔÚоƬÖÐÑ롣ƽ°å»ù°åÄ£¿éÍÑÂäµÄ¼üºÏµãÏà¶Ô·ÖÉ¢£¬Ó빤ÒÕÀëÉ¢ÐÔÏà¹Ø¡£

ͼ 14 ÊÇ´óµçÁ÷¹Ø¶Ïʱ¿Ì£¬Æ½°å»ù°åÄ£¿éºÍPin-Fin »ù°åÄ£¿é¼üºÏÏßµÄËÜÐÔÓ¦±ä·Ö²¼£¬¼üºÏµã´¦³öÏÖËÜÐÔÓ¦±äµÄ×î´óÖµ£¬Æ½°å»ù°åÄ£¿é¼üºÏÏßµÄ×î´óËÜÐÔÓ¦±äΪ 2.335¡Á10-3£¬Pin-Fin Ä£¿é¼üºÏÏßµÄ×î´óËÜÐÔÓ¦±äΪ 2.504¡Á10-3£¬Ïà½Ïƽ°å»ù°åÄ£¿é¸ß 7.2%¡£Í¼ 15 ¸ø³öÁËÓÐÏÞÔªÊýֵģÄâµÃµ½µÄоƬÖÐÐļüºÏµãÔÚ 3 ¸öÑ»·ÖÜÆÚÄÚµÄËÜÐÔÓ¦±äÀÛ»ý£¬¿ÉÒÔ¿´µ½£¬µÚÈý¸öÑ»·ºÍµÚ¶þ¸öÑ»·µÄËÜÐÔÓ¦±äÔöÁ¿²î±ð½ÏС£¬µ¥¸ö¹¦ÂÊÑ»·ÖÜÆÚÄÚµÄËÜÐÔÓ¦±äÁ¿Ç÷ÓÚÎȶ¨¡£ÔÚµÚÈý¸öÑ»·µÄ¹ý³ÌÖУ¬Æ½°å»ù°åÄ£¿é¼üºÏÏßµÄËÜÐÔÓ¦±ä±ä»¯Á¿Îª 1.01¡Á10-3£¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿é¼üºÏÏßµÄËÜÐÔÓ¦±ä±ä»¯Á¿Îª 1.36¡Á10-3£¬±Èƽ°å»ù°åÄ£¿é¸ß³ö34.7%¡£


ÔÚÏàͬµÄƽ¾ù½áα仯Ï£¬¾¹ý³¤Ê±¼äµÄÀÛ»ýЧӦ£¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿é¼üºÏÏßµÄËðÉ˽«¸ßÓÚÆ½°å»ù°åÄ£¿é¼üºÏÏßµÄËðÉË£¬´Ó¶øµ¼ÖÂÏàͬƽ¾ù½áÎÂÏÂPin-Fin »ù°åÄ£¿éµÄ¹¦ÂÊÑ»·ÊÙÃüµÍÓÚÆ½°å»ù°åÄ£¿é¡£²»ÂÛ¹¦ÂÊÑ»·ÊÔÑ黹ÊÇ·ÂÕæ·ÖÎö£¬¶Ô±ÈµÄÊÇÏàͬ½áÎÂÏ嵀 Pin-Fin Ä£¿éºÍƽ°åÄ£¿é½áα仯ËÙÂʶԿɿ¿ÐÔµÄÓ°Ï죬¼´ÔÚÏàͬÈÈÁ¦Ìõ¼þϸüÄÜÌåÏÖ³öÄ£¿é·â×°¿É¿¿ÐԵIJîÒ졣ʵ¼Ê IGBT ·þÒÛ¹¤¿öÏ£¬Pin-Fin Ä£¿éÈÈ×èµÍ£¬Ïàͬ½áÎÂÏÂÆä³öÁ÷ÄÜÁ¦Ïà±Èƽ°åÄ£¿é¸üÇ¿¡£ÎªÁË×î´ó³Ì¶È·¢»ÓÄ£¿éÌØÐԺͽµµÍ³É±¾£¬×·Çó¸ü¸ßµÄÐԼ۱ȣ¬Í¨³£Ê¹Ä£¿é¹¤×÷ÔÚ×î¸ßÔÊÐí½áθ½½ü¡£IGBT Ä£¿é²úÆ·µÄ¿É¿¿ÐÔÒªÇóÊÇͨ¹ýÖ¸¶¨Î¶ȱ仯·¶Î§Ìõ¼þÏµĹ¦ÂÊÑ»·ÊÔÑ飬Pin-Fin Ä£¿éºÍƽ°åÄ£¿é½öÔÚ¹¦ÂÊÑ»·ÊÙÃüÉÏ´æÔÚ²îÒì¡£
¡¡±¾ÎÄÑо¿ÁËÒ»ÖÖÓÃÓÚ5GͨÐŵÄÉäÆµÎ¢ÏµÍ³ÓëÌìÏßÒ»Ì廯ÈýάÉȳöÐͼ¯³É·â×°¼¼Êõ. ͨ¹ýÔÚ²£Á§¾§Ô² ÉÏʹÓÃË«Ãæ²¼Ïß¹¤ÒÕ£¬ÊµÏÖºÁÃײ¨ÌìÏßÕóÁеÄÖÆ×÷. ½«TSVת½ÓоƬÓëÉäÆµÐ¾Æ¬µ¹×°º¸ÔÚ²£Á§¾§Ô²ÉÏ£¬ÔÙÓÃÊ÷Ö¬²ÄÁÏ ½øÐÐ×¢ËÜ£¬½«²£Á§¾§Ô²ÓëÒì¹¹Ð¾Æ¬ÖØ¹¹³É²£Á§ÓëÊ÷Ö¬ÓÀ¾Ã¼üºÏµÄ¾§Ô². ¼õ±¡Ê÷Ö¬¾§Ô²ÃæÂ©³öTSVת½ÓоƬµÄÍÖù£¬ÔÚ Ê÷Ö¬±íÃæÉÏÍê³ÉÔÙ²¼Ïß. °Ñ¿ØÖÆ¡¢µçÔ´¹ÜÀíµÈоƬµ¹×°º¸ÔÚÔÙ²¼ÏßÐγɵĺ¸ÅÌ´¦£¬Ö²ÉÏBGAº¸ÇòÐγÉ×îÖÕ·â×°Ìå. Àû ÓúÁÃײ¨Ì½Õę̈¶ÔÉ䯵´«ÊäÏßµÄËðºÄ½øÐвâÁ¿£¬½á¹û±íÃ÷£¬1 mm³¤µÄCPW´«ÊäÏßÉ䯵´«ÊäËðºÄÔÚ60 GHz½öΪ0.6 dB. ÔÚ²£Á§¾§Ô²ÉÏÉè¼ÆÁËÒ»ÖÖ·ì϶ñîºÏÌìÏߣ¬ÌìÏßÔÚ59.8 GHzµÄ¹¤×÷ƵÂÊ×î´óÔöÒæ´ïµ½6 dB. ÕâΪ5GͨÐŵÄÉäÆµÎ¢ÏµÍ³ ÓëÌìÏßÒ»Ì廯ÈýάÉȳöÐͼ¯³ÉÌṩÁËÒ»¸öÇÐʵ¿ÉÐнâ¾ö·½°¸.Pin-Fin »ù°åÖ±½ÓÒºÀäµÄÌØÐÔÓÐЧ½µµÍÁË IGBTÄ£¿éÕûÌåÈÈ×裬ʹµÃÄ£¿éÉ¢ÈÈЧÂʵõ½Á˼«´óµØÌáÉý£¬Ôڵ綯Æû³µÓ¦ÓÃÁìÓòÕýÖð²½Ìæ´ú´«Í³Æ½°åÄ£¿é¡£±¾ÎÄ»ùÓÚÕâÁ½ÖÖ IGBT Ä£¿é£¬Ñо¿Á˲»Í¬É¢Èȵװå¶ÔÄ£¿é¹¦ÂÊÑ»·ÊÙÃüµÄÓ°Ï죬¿ÉÒԵõ½ÈçϽáÂÛ£º
1£©»ùÓÚ·â×°¿É¿¿ÐÔµÄÊӽǣ¬ÔÚÏàͬ½á⨶¯ºÍ×î¸ß½áÎÂÏ£¬Pin-Fin »ù°åÄ£¿éоƬ±íÃæÎ¶ȷֲ¼²»¾ùÔȳ̶ȸü¸ß£¬Ð¾Æ¬±íÃæÎ¶ÈÌݶȸü´ó£¬Ð¾Æ¬×î¸ßζȸü¸ß£¬ÖÐÐļüºÏÏßµÄËÜÐÔ±äÐθü´ó£¬µ¼ÖÂоƬÖÐÐļüºÏÏ߸üÈÝÒ×ÍÑÂ䣬×îÖÕµ¼ÖÂÆä¹¦ÂÊÑ»·ÊÙÃüÏà±Èƽ°åÄ£¿é¸ü¶Ì£»
2£©»ùÓÚÓ¦Óÿɿ¿ÐÔµÄÊӽǣ¬ÓÉÓÚ Pin-Fin »ù°åÄ£¿éÈÈ×è¸üС£¬ÔÚÏàͬÊä³öµçÁ÷ÏÂÆä×î¸ß½áκͽá⨶¯¸üµÍ£¬Æä·þÒÛÊÙÃüÔ¤¼Æ»á¸ü¸ß¡£ÁíÍ⣬¸üµÍµÄÈÈ×èÒâζ×ÅÔÚ×î¸ßÔÊÐí½áÎÂÏ¿ÉÒÔÌá¸ßÄ£¿éµÄ³öÁ÷ÄÜÁ¦£¬Í¬Ê±Æä×î¸ß½áκͽá⨶¯Ò²»áÔö¼Ó£¬·þÒÛÊÙÃüÒ²»áµÍÓÚÆ½°åÄ£¿é£»
3£©ÎªÁËÂú×ãÓ¦ÓõĶàÖØÐèÇó£¬Ä£¿éÉè¼ÆÐèÒª×ۺϿ¼ÂÇͨÁ÷ÄÜÁ¦ºÍ¿É¿¿ÐÔÄÜÁ¦£¬¶ÔÓÚ Pin-Fin »ù°åÄ£¿é£¬ÔÚ¸ü»»É¢Èȵװ彵µÍÄ£¿éÈÈ×èµÄͬʱ£¬ÈôҪʵÏÖͬµÈ¹¦ÂÊÑ»·ÊÙÃü£¬Ò²ÐèÒª²ÉÈ¡´ëÊ©ÌáÉýÆä¿É¿¿ÐÔ¡£Á½Õß²»ÊǼòµ¥µÄÌæ»»¹ØÏµ£¬ÔÚÉè¼ÆÄ¿±ê·½ÃæÓ¦¸ÃÊǶÀÁ¢¹ØÏµ£¬ÔÚ¶àÎïÀí³¡·½ÃæÔòÊÇÏ໥ñîºÏ¹ØÏµ£¬Î´À´»ùÓÚµç-ÈÈ-Á¦¶àÄ¿±êÓÅ»¯µÄÉè¼Æ·½·¨ÓÈÎªÖØÒª¡£
×ÛÉÏËùÊö£¬±¾ÎÄ´ÓÏàͬζÈÌõ¼þ϶ԱȷÖÎöÁËÁ½ÖÖÉ¢ÈȵװåÏµĹ¦ÂÊÑ»·ÊÔÑéÊÙÃü²îÒì¡£¹¦ÂÊÑ»·¼ÓËÙÀÏ»¯ÊÔÑéÓëʵ¼ÊÓ¦ÓÃÌõ¼þÖ®¼ä´æÔÚ²î±ð£¬Ðè²ÉÓøüÇ¡µ±µÄ¼ÓËÙÊÙÃüÊÔÑé·½·¨ºÍÌõ¼þÀ´±íÕ÷Æ÷¼þÔÚÓ¦Óù¤¿öϵÄÊÙÃü¡£
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